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产品名称：高压流体发泡清洗
用于晶圆，镀膜玻璃，树脂镜片的表面臭氧发泡清洗
| 1. | 超声波功率 | 28/40/200kHz |
| 2. | 水压 | 0.3~1.5 Mpa |
| 3. | 温度 | 可加热至85℃ |
| 4. | 流量 | MAX:2L/min |
| 5. | 电源 | AC 220V 2A |
| 6. | 外形尺寸 | L153×W197×H345mm |
| 7. | 清洗异物类型 | 灰尘、手汗、指纹、胶水等有附着力的异物 |
| 9. | 臭氧发生功能 | 60L/min |
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