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产品名称：晶圆紫外线照射机
晶圆紫外线照射机| ■ 用途：晶圆粘付蓝膜后进行UV照射以减弱其粘性便于后续的拾取封装工序。 |
| ■ 尺寸：L1500*W1500*H1200mm |
| ■ 性能：Magazine式的晶圆投入取出机构，内部三轴机械手抓取晶圆后投入至紫外线中照射。 |
| ■ 紫外波长：365nm |
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